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ABB OA-ICOS GLA231 系列，支持 HF、HCI、NH₃ 的单气体或多气体配置：

OA-ICOS™ GLA231-EAA：NH₃ 和 H₂O 高性能机架式分析仪

OA-ICOS™ GLA231-HF：HF 和 H₂O 高性能机架式分析仪

OA-ICOS™ GLA231-HFHC：HCl、HF 和 H₂O 高性能机架式分析仪

OA-ICOS 骋尝础231系列高性能机架式分析仪

概述

ABB OA-ICOS 气体分析仪继承了 Los Gatos Research 的优良传统和辉煌业绩，采用离轴积分腔输出光谱（OAICOS）技术，这是第四代腔增强吸收技术。

OA-ICOSTM 工业痕量气体分析仪旨在以优异的灵敏度、准确度、精密度和响应时间，满足客户的苛刻要求。它简单易用，可在几分钟内启动，无需现场校准，并且只需极少的预防性维护。

该系列气体分析仪非常适用于：

• 空气分子污染（AMC）监测：用于确保半导体晶圆厂（FAB）工艺和人员的健康安全

• 前开式晶圆传送盒（FOUP）和气相沉积室监测与传统的光腔衰荡光谱技术相比，离轴 ICOS 技术具有诸多优势，例如：更加可靠耐用、更短测量时间、使用的光腔和反射镜可现场维修。

所有 ABB 仪器均内置计算机（采用 Linux 操作系统），该计算机会将每次分析的结果和相关指标存储在内部硬盘上，从而实现无需人员值守的长期运行。相关数据则可以通过模拟、数字（RS232）和 ModbusTM1 的输出方式源源不断地导出。此外，这系列仪器还可以通过互联网远程控制，用户无需身处现场，就可以控制仪器、从仪器中获取数据，以及对仪器进行诊断。该系列仪器还可以保存所测气体的完整光谱，用于故障排除，甚至在过程发生意外变动后，远程优化分析仪。

功能和优势

• 支持 HF、HCI、NH3 的单气体或多气体配置

• 提供高精度、准确的 H2O 测量结果

• 提供 0-5V 和 4-20 mA 模拟输出（标配），以及Modbus TCP（选购）

• 优化数据处理，在测量亚 ppb 级别浓度时，实现优异性能

• 提供触控数字显示屏，显示气体浓度和分析仪的状态

• 提供主要密码保护，确保分析仪和数据安全

• 经过优化的零气性能，以可靠地确认过程事件

• 提供可定制的校准套件和性能认证文件包

• 坚固耐用；所需的维护工作很少并且花费较低

• 可轻松更换长期受到污染的部件（过滤器）和正常老化部件（泵隔膜）

• 服务工程师可现场诊断并更换其他大多数部件

• 镜面清洁可现场进行，无需在工厂费时维修